BS EN IEC 63616-2026 金属薄膜微波与毫米波频段电导率测量 标准立项发展报告.docxVIP

金属薄膜微波与毫米波频段电导率测量标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:MeasurementoftheConductivityforMetalThinFilmsatMicrowaveandMillimeter-WaveFrequencies—Balanced-TypeCircularDiskResonatorMethod

摘要

随着5G/6G通信、先进封装、柔性电子及微波毫米波器件向高频化、集成化方向快速发展，金属薄膜在微波与毫米波频段的电导率准确测量成为材料表征与器件设计的关键基础问题。传统直流四探针法无法反映材料在高频段的实际电磁响应，而表面电阻与电导率的频率依赖性对传输损耗、天线效率及互连可靠性具有决定性影响。本标准BSENIEC63616-2026《金属薄膜微波与毫米波频段电导率测量——平衡型圆盘谐振器法》规定了采用平衡型圆盘谐振器测量金属薄膜在微波及毫米波频段电导率的术语、原理、装置、试样制备、测量程序与不确定度评定要求。标准以谐振腔微扰理论为基础，通过测量谐振频率偏移与品质因数变化反演薄膜表面电阻，进而获得电导率。该标准为金属薄膜高频电磁参数提供了统一、可溯源的测量方法，填补了高频段薄膜电导率标准化测试的空白，对电子材料研发、器件建模及质量管控具有重要指导意义。

关键词

金