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GB/T48345-2026规范下硅衬底氮化镓外延片的HEMT器件应用全指南

GB/T48345-2026《用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片》于2026年发布、2026年X月X日实施，首次以国家标准形式统一了硅衬底氮化镓外延片的性能要求、测试方法与质量评价规则，解决了此前行业内测试口径不一、质量等级混乱的痛点。本文梳理该标准的核心技术要求，结合量产与应用实测数据，给出从外延制备、器件制备到可靠性验证的全流程落地方法，为第三代半导体产业链上下游企业提供可直接参照的操作框架。

一、GB/T48345-2026的制定背景与适用范围

1.1制定背景

硅衬底氮化镓（GaN-