GB_T 48345-2026 硅衬底氮化镓HEMT外延片技术要求与验证方法解析.docx

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GB/T48345-2026硅衬底氮化镓HEMT外延片技术要求与验证方法解析

GB/T48345-2026是国内首个针对硅衬底氮化镓高电子迁移率晶体管（HEMT）外延片的国家标准，2026年发布、2026年实施，归口于全国半导体设备和材料标准化技术委员会。标准统一了异质外延结构参数、材料缺陷阈值、电学特性测试方法及可靠性验证流程，解决了此前产业链各环节测试口径不一致、质量判定无统一依据的痛点，为8英寸硅基氮化镓外延片的规模应用提供了技术准绳。

适用范围与核心技术框架

本标准适用于制作射频功率开关、高频放大及电源管理类HEMT器件的硅衬底氮化镓外延片，覆盖6