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TCWDPA-半导体晶圆外观缺陷检测系统技术要求.pdfVIP

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  • 2026-11-03 发布于上海
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TCWDPA-半导体晶圆外观缺陷检测系统技术要求.pdf

    ICS31.240T

    CCSL85

    团体标准

    T/CWDPAXXX—2026

    半导体晶圆外观缺陷检测系统

    技术要求

    Technicalrequirementsforsemiconductorwafervisualdefectinspection

    system

    2026-X-XX发布2026-X-XX实施

    中国西部开发促进会发布

    目次

    前言II

    1范围1

    2规范性引用文件1

    3术语和定义1

    4系统组成与分类

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