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i线光刻级氟化钙晶体

目录

CONTENTS

02.

04.

05.

01.

03.

06.

标准概述与适用范围

加工与制备技术

材料基本特性

检验与测试方法

质量与缺陷控制

标志、包装与储运

01

标准概述与适用范围

该标准制定前，紫外级高端氟化钙晶体长期被国外垄断并对我国实施禁运，严重制约了我国紫外光刻等高端装备产业的发展。

突破技术封锁

标准制定背景与意义

填补标准空白

促进成果转化

作为我国紫外光刻领域首项核心光学材料专业技术标准，其发布有效填补了国内外相关领域的标准空白，整体技术水平达到国际先进。

致力于推动科技成果向实际应用转化，成功化解了高端半导体设备关键光学材料的“卡脖子”难