CN120655627A-一种工件形貌缺陷的检测方法、系统、设备及介质.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120655627A

(43)申请公布日2025.09.16

(21)申请号202510815696.1

(22)申请日2025.06.18

(71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物

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