液晶面板基板空化清洗损伤控制工艺探究.docx

研究报告

PAGE

1-

液晶面板基板空化清洗损伤控制工艺探究

一、液晶面板基板空化清洗损伤概述

1.液晶面板基板空化清洗损伤的定义

液晶面板基板空化清洗损伤是指在液晶面板制造过程中，由于采用空化清洗技术对基板进行清洗时，由于清洗过程中产生的空化效应和冲击波等物理现象对基板表面及内部结构造成的损害。这种损伤主要包括表面划痕、裂纹、孔洞等缺陷，严重时甚至会导致基板破裂，从而影响液晶面板的成像质量和使用寿命。空化清洗损伤的产生与多种因素相关，包括清洗参数的选择、清洗设备的性能、基板材料特性等。

空化清洗过程中，液体中的气泡在高压作用下迅速生长至最大尺寸，然后突然崩溃，释放出巨大