CN119170531A 晶圆测量方法、清洗方法、清洗装置及电子设备与存储介质 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119170531A

(43)申请公布日2024.12.20

(21)申请号202411404774.0

(22)申请日2024.10.10

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人马钰皓曹自立李灯李长坤

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

H01L21/68(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图7页

(54)发明名称

晶圆测量方法、清洗方法、清洗装置及电子

设备与存储介质

(57)