IEC 62047-35：2019 半导体器件.微机电装置.第35部分挠性机电装置弯曲变形电特性的试验方法标准立项发展报告.docxVIP

半导体器件微机电装置第35部分：挠性机电装置弯曲变形电特性的试验方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Semiconductordevices–Micro-electromechanicaldevices–Part35:Testmethodofelectricalcharacteristicsunderbendingdeformationforflexibleelectro-mechanicaldevices

摘要

随着柔性电子技术的快速发展，挠性机电装置（FlexibleElectro-MechanicalDevices,FEMD）在可穿戴设备、柔性显示、电子皮肤及生物医学传感等领域展现出广阔的应用前景。然而，该类器件在弯曲变形条件下的电特性评估长期缺乏统一、规范的试验方法，严重制约了产品研发、质量控制和产业化进程。IEC62047-35:2019《半导体器件微机电装置第35部分：挠性机电装置弯曲变形电特性的试验方法》由国际电工委员会（IEC）于2019年11月22日正式发布，是微机电装置标准体系中针对挠性器件弯曲电特性测试的首个国际标准。该标准系统规定了挠性机电装置在弯曲变形条件下电特性测试的术语定义、试验原理、测试设备要求、试样制备方法、测试程序及结果报告要求，为柔