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激光干涉仪测量系统调试作业规范.docx

激光干涉仪测量系统调试作业规范.docx

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    激光干涉仪测量系统调试作业规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、作业目的 3

    二、适用范围 4

    三、术语与定义 5

    四、人员职责 7

    五、作业安全要求 10

    六、设备与工具 12

    七、测量环境要求 15

    八、作业前检查 17

    九、测量系统安装 19

    十、光路布置与调整 22

    十一、激光器预热与检查 24

    十二、测量轴线对准 26

    十三、测量参数设置 28

    十四、系统校准 30

    十五、测量程序编制 33

    十六、测量操作流程 38

    十七、测量数据采集 41

    十八、数据处理与分析 43

    十九、测量结果

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