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激光设备制造厂房设计规范
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一、总则 3
二、术语和定义 6
三、厂址选择与总平面布置 10
四、生产工艺设计 14
五、建筑设计 16
六、结构设计 19
七、激光作业安全设计 23
八、消防设计 25
九、电气与照明设计 28
十、暖通空调设计 32
十一、洁净与防尘设计 36
十二、工艺气体系统设计 38
十三、给水与排水设计 43
十四、废气处理与排放设计 46
十五、噪声与振动控制 49
十六、物料运输与物流设计 52
十七、仓储设施设计 57
十八、通信与智能化
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