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硅谐振式压力传感器

Siliconresonantpressuresensor

（试行版）

1.范围

本文件规定了硅谐振式压力传感器的术语和定义、型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于利用微机电系统（MEMS）硅谐振原理，将气体或液体压力转换为频率信号输出的硅谐振式压力传感器（以下简称传感器）。传感器测量范围0kPa～60MPa，准确度等级0.01级～0.2级。工业过程控制、航空航天、汽车、能源计量等领域用同类传感器可参照执行。

2.规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

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GB/T2423.4环境试验第2部分：试验Db：交变湿热

GB/T2423.10环境试验第2部分：试验Fc：振动(正弦)

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