薄膜晶体管材料与技术MaterialsandTechnologyforThin-FilmTransistors
1绪论Introduction
1.1薄膜晶体管简介1绪论31.TFT的定义:TFT是一种由薄膜型半导体、金属和绝缘层组成的场效应器件。TFT通常含有栅极、栅绝缘层、半导体层、源极和漏极。2.TFT的优势:低成本,能够大面积制备3.主要应用范围:目前TFT在柔性显示、电子皮肤、仿生电子、触觉传感、健康监测传感、人工突触、三维集成电路等方面展现了广阔的应用前景(详见第9章),部分已经实现规模量产应用。TFT的主要应用范围
1.2薄膜晶体管的历史脉络1绪论419
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