高纯石墨2.0时代:从工业耗材到半导体核心组件的范式转换.docx

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高纯石墨2.0时代:从工业耗材到半导体核心组件的范式转换

TOC\o1-3\h\z\u21169高纯石墨2.0时代:从工业耗材到半导体核心组件的范式转换 3

32357一、产业背景与范式转移 3

175541.1传统工业石墨的应用局限与瓶颈 3

286361.2半导体制造对材料纯度的严苛需求 5

10111二、技术革新:高纯石墨制备工艺突破 6

315562.1原料提纯技术的迭代升级路径 6

231272.2等静压成型与烧结工艺的精准控制 8

3756三、核心应用场景深度解析 10

68973.1单晶硅生长炉热场

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