CN119267668A 半导体设备反应腔法兰连接结构及其连接方法 （鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119267668A

(43)申请公布日2025.01.07

(21)申请号202411418690.2

(22)申请日2024.10.12

(71)申请人鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司

地址243000安徽省马鞍山市慈湖高新区

霍里山大道北段1669号3栋

(72)发明人顾少俊周航黄柱龙张敬展

(74)专利代理机构南通亿旸知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)32578

专利代理师丁松鹏

(51)Int.Cl.

F16L23/024(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说