TJSSIA 0001—2024光敏介质薄膜与互连金属界面结合力的评价方法.pdfVIP

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TJSSIA 0001—2024光敏介质薄膜与互连金属界面结合力的评价方法.pdf

ICS

1CS31.200

31.200

CCS

CCSL55

L55

JSSIA

江苏省半导体行业协会才体标准

江苏省半导体行业协会团体标准

T/JSSIA0001—2024

光每政价质通膜三与连金属类南结合力的计

光敏介质薄膜与互连金属界面结合力的评

价方法

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