原创力文档T/CECSXXXX—20xx
电子工业工艺端尾气处理工程技术规程
TechnicalSpecificationforPoint-of-UseExhaustGasTreatmentEngineeringintheElectronicIndustry
(征求意见稿)
202X-XX-XX发布
202X-XX-XX实施
中国工程建设标准化协会标准
目次
TOC\o1-3\h\z\u1总则 6
2术语 7
3基本规定 9
4设备选型 12
5烷类尾气处理系统 13
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