表面化学分析 X射线光电子能谱 石英晶体单铬化Al Kα XPS仪器的强度校准方法 标准立项发展报告.docx

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表面化学分析X射线光电子能谱石英晶体单铬化AlKαXPS仪器的强度校准方法标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—Methodofintensitycalibrationforquartz-crystalmonochromatedAlKαXPSinstruments

摘要

X射线光电子能谱(XPS)作为表面化学分析的核心表征技术,在材料科学、半导体制造、催化研究

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