碳化硅外延抛光耗材国产化进度研判.docx

研究报告

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碳化硅外延抛光耗材国产化进度研判

一、碳化硅外延抛光耗材概述

1.碳化硅外延抛光耗材的定义及分类

(1)碳化硅外延抛光耗材是用于碳化硅单晶外延生长过程中的关键辅助材料，其主要作用是保证外延层的平整度和均匀性，提高碳化硅单晶的晶体质量。这类耗材包括碳化硅抛光垫、碳化硅抛光液以及其他辅助设备。其中，碳化硅抛光垫是最重要的耗材之一，它由碳化硅等硬质材料制成，具有良好的耐磨性和抛光性能。据统计，碳化硅抛光垫在全球市场的年需求量约为数千吨，广泛应用于新能源汽车、光伏、国防军工等领域。

(2)根据成分和性能特点，碳化硅外延抛光耗材可分为以下几类：硬质材料抛