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《晶圆制造湿电子化学品应用手册》.docx

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    《晶圆制造湿电子化学品应用手册》

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、晶圆制造湿电子化学品总览 3

    二、湿电子化学品分类与特性 5

    三、晶圆制造湿法工艺环节 11

    四、酸性湿电子化学品及应用 14

    五、碱性湿电子化学品及应用 19

    六、有机溶剂类湿化学品及应用 21

    七、特种功能湿化学品及应用 24

    八、刻蚀后清洗化学品选用 27

    九、光刻显影化学品选用 33

    十、光刻去胶化学品选用 36

    十一、化学机械抛光化学品选用 38

    十二、晶圆表面预处理化学品 40

    十三、成膜前处理化学品选用 43

    十四、缺陷控制与化学品适配

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