CN119372615A 一种芯片镀膜的均匀性控制系统及方法 （桂林光隆集成科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119372615A

(43)申请公布日2025.01.28

(21)申请号202411408290.3

(22)申请日2024.10.10

(71)申请人桂林光隆集成科技有限公司

地址541004广西壮族自治区桂林市七星

区高新区信息产业园D-08地块1栋3层

生产车间

(72)发明人黄祥恩匡嘉乐陈春明刘伟宁

(74)专利代理机构桂林文必达专利代理事务所

(特殊普通合伙)45134

专利代理师张学平

(51)Int.Cl.

C23C14/54(2006.01)

C23C14/35(2006.01)