CN119381294A 一种晶圆在位判断机构、判断方法及末端执行器 (素珀电子科技(上海)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-11-11 发布于重庆
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CN119381294A 一种晶圆在位判断机构、判断方法及末端执行器 (素珀电子科技(上海)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119381294A

(43)申请公布日2025.01.28

(21)申请号202411424656.6

(22)申请日2024.10.12

(71)申请人素珀电子科技(上海)有限公司

地址201206上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区宁桥路615号1幢402

室

(72)发明人朱玉东严梦刘玮赵渠

(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事

务所(普通合伙)31286

专利代理师吴浩

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

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