CN119430064A MEMS芯片、其制备方法、微机电气体传感器及气体检测装置 （歌尔微电子股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119430064A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202411434448.4

(22)申请日2024.10.14

(71)申请人歌尔微电子股份有限公司

地址266101山东省青岛市崂山区科苑纬

一路1号青岛国际创新园二期F楼

(72)发明人邹泉波宋青林

(74)专利代理机构北京博雅睿泉专利代理事务

所(特殊普通合伙)11442

专利代理师王永亮

(51)Int.Cl.

B81B7/02(2006.01)

B81B7/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

G01N27/22(2006.01)