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准分子紫外辐射源安全规范

Excimerultravioletradiationsources—Safetyspecifications

目次

前言 Ⅲ前言Ⅲ

1范围 11范围1

2规范性引用文件 12规范性引用文件1

3术语和定义 13术语和定义1

4安全要求和试验方法 24安全要求和试验方法2

附录A(资料性)222nm准分子紫外辐射源示意图 10附录A(资料性)222nm准分子紫外辐射源示意图10

附录B(资料性)灯具设计相关信息 11附录B(资料性)灯具设计相关信息11

附录C(规范性)测量点的最大温升试验方法 12附录C(规范性)测量点的最大温升试验方法12

参考文献 14参考文献14

前言

准分子紫外辐射源安全规范

1范围

本文件规定了准分子紫外辐射源(以下简称“辐射源”)的标志、电气安全、耐热与阻燃、温升、辐射及相关安全性等技术要求,描述了相应的试验方法。

本文件适用于工作电压小于10000V(r.m.s)的辐射源。

本文件不适用于含集成控制装置(驱动电源)的辐射源。

示例:波长为1