原创力文档洁净室及相关受控环境第14部分：基于空气悬浮粒子浓度的设备适用性评估标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:CleanroomsandAssociatedControlledEnvironments–Part14:AssessmentofSuitabilityforUseofEquipmentbyAirborneParticleConcentration
摘要
随着半导体制造、生物医药、精密机械、航空航天等高技术产业对生产环境洁净度要求的持续提升，洁净室及相关受控环境的标准化体系建设日益受到国际社会的广泛
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