CN119951161A 一种真空成膜装置及成膜方法 （长沙众耀新能源有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119951161A

(43)申请公布日2025.05.09

(21)申请号202510436678.2

(22)申请日2025.04.09

(71)申请人长沙众耀新能源有限公司

地址410299湖南省长沙市望城经济技术

开发区雷高路279号6号栋4楼401室

(72)发明人郭玉昆张文君任福梦郭思溢

牛亚红

(74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569

专利代理师王洋

(51)Int.Cl.

B01D9/02(2006.01)

B05D3/04(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图1页

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