微电机 第二讲微机电系统与传统机械系统.pptVIP

2.4 设计内容和方法 在各种效应的综合作用下： 在传统设计理论下被忽略的因素将起重要作用； 各种设计理论已超出宏观领域内机械设计传统理论的适用范围； 强度机理、疲劳与破坏机理以及设计原理都应重新审定； 各种假设以及等效模型的等效条件也应重新衡量。 3. 设计准则的变化 4. 设计过程 2.4 设计内容和方法 2.4 设计内容和方法 5. 设计方法 在微机电系统设计中，主要有以下几种设计方法： 1）自底向上设计（Bottom-up） 2）自顶向下方法（Top-down） 3）中间相遇的方法（meet-in-the-middle） 以底层开始设计，分别进行微执行器、微传感器、微处理器和微驱动器等组成部分的设计，构成功能模块（例如传感器列阵、执行器列阵等），然后组合成微机电系统。不能对系统的功能、经济性进行总体优化。 1）自底向上设计（Bottom - up） 2）自顶向下方法（Top - down） 从顶层开始设计。根据微机电系统的技术要求，从系统整体优化的角度，进行系统的方案设计，选择加工技术，再进行微执行器、微传感器、微处理器和微驱动器等组成部分的功能模块技术设计。 3）中间相遇（Meet-in-the-middle）的设计方式 一是因各学科的差异，设计前提条件基本上是不同的，设计人员全面考虑多学科