910-扫描探针显微术 （SPM）.pptVIP

掃描探針顯微術 (SPM) 常用顯微術比較表 原子力顯微術 (AFM) ?探針一般由成份為Si或Si3N4懸臂樑及針尖組成，尖端直徑20至100nm，藉著針尖與樣品間的原子作用力，使懸臂樑產生位移，而測得表面結構形狀，具有原子解析度。光偏折為最常用之距離控制機制。 ?操作上分接觸式(DC式)、非接觸式及間歇接觸式(AC式)。 ?應用於奈米級表面形狀量測，粗糙度分析、生醫樣品檢測等等。 原子力顯微術原理示意圖 原子力顯微術 (AFM) 原子力顯微術 (AFM) 磁力顯微術 (MFM) ?利用鍍有磁性薄膜之矽探針，藉著探針尖端的 磁矩與磁性材料間磁力來檢測表面磁特性，解析度約為50nm。 ?早期使用非接觸式AFM方式，只能得到磁力影像；現大多利用兩段掃描，先得到表面形狀，然後在定高度掃描取得磁力影像。 ?應用於磁性薄膜、磁記憶裝置、磁記錄結果分析等等。 磁力顯微術原理示意圖 磁力顯微術 (MFM) 貴儀中心 SPM 實驗室 服務項目及收費標準 申請服務辦法 ?預約實驗時段，不必先送樣。實驗時使用者須在場。? ?一個序號為3小時(半天)。 ?預約期限日期為實驗10天前，實驗7天前必須與操作員聯繫確定實驗日期，預約才算完成。 ?樣品準備需知： ?a.樣品直徑6以內。 ?b.表面盡量避免污染，減少塵粒的沾附，保持試片 的新鮮為佳。 ?c.試片準備以不超過2星期為宜。 ?探針可以自備，只要符合DI-3100使用規格即可。 * ?材料製造尺寸已由微米、次微米，逐漸發展至奈米級精密處理，高解析表面分析技術為重要關鍵技術之一。 ?掃描探針顯微術(SPM)具有原子級表面形狀解析度，並可檢測多種奈米級表面特性如力學特性、電性、磁性、熱性等等。 ?優點為儀器體積小，樣品無需特殊處理，可在任何環境下進行測量；缺點為缺乏成份分析功能。 ? 光學顯微術(OM) 掃描電子顯微術(SEM) 穿透電子顯微術(TEM) 掃描探針顯微術(SPM) 橫向解析度 300奈米 3奈米 原子級 原子級 縱向解析度 20奈米 10奈米 無 原子級 成像範圍 1毫米 1毫米 0.1毫米 0.1毫米 成像環境 無限制 真空 真空 無限制 樣品準備 無 鍍導電膜 手續繁複 無 成份分析 有 有 有 無 雲母(mica)表面的原子解析度影像 PZT鐵電薄膜之表面形貌影像 數位錄影帶之表面形貌(左)及磁力影像(右) 儀器中文名稱：掃描式原子探測顯微鏡 儀器英文名稱：Scanning Probe Microscope 廠牌及型號：Digital Instruments NS3a controller with D3100 stage 重要規格：scan size : 90 μm ? 90 μm, z range : 6 μm 三軸誤差 ? ±3%? ?????? 服務項目? ????? 服務內容? ??????????????? 收費標準 ?? AFM表面 形貌量測? ?? 委託測試? ?? contact mode? ?? tapping mode ? (a) 使用費用：1500/次? ? (b) 探針費用：500/次? ? (c) 數據機處理與傳輸：500/次? ?? MFM磁力 影像量測 ?? 委託測試?  ?? lift mode ? (a) 使用費用：1500/次? ? (b) 探針費用：500/次? ? (c) 數據機處理與傳輸：500/次 *