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超高真空阀门.doc
超高真空阀门
CCQ-A型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向,推动气缸活塞,驱动阀板作上下运动,实现阀门的开启或关闭,从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。 适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
主要技术性能
适用范围(Pa)
105~1.3x10-7
阀门漏率(Pa.L/S)
DN≤200为≤1.3x10-7DN≥250为≤6.7x10-7
阀门烘烤温度(℃)
≤150(除传动装置外)
开阀时阀板两侧压力差(Pa)
≤2.7x103
气源压力(MPa)
0.4~0.6
电源电压
标准出厂:AC220V/50Hz特殊指定:AC110V;DC24V;DC12V等
信号反馈
标准出厂:不带反馈信号特殊指定:微动开关DC/AC5~240V
连接及外形尺寸
型号
通径(DN)
ΦD
ΦD0
ΦD1
ΦD2
ΦD3
H
A
n-d
L
L1
B
法兰标准
CCQ-50A
50
89
72.4
61.6
55.6
/
60
91
8-M8
515
153
62
GB/T6071
CCQ-63A
63
114
92.1
82.6
76.6
/
65
105
8-M8
590
180
62
CCQ-80A
80
130
110
99
93
/
65
130
16-M8
608
220
75
CCQ-100A
100
152
130.2
120.7
114.7
/
70
152
16-M8
655
267
94
CCQ-150A
150
202
181
171.5
165.5
/
70
202
20-M8
707
350
94
CCQ-200A
200
254
231.8
222.3
216.6
/
80
251
24-M8
806
426
112
CCQ-250A
250
314
288
308
275
271
85
300
24-M10
1125
550
112
JB5278
CCQ-300A
300
365
338
353
323
318
90
352
32-M10
1195
613
140
/
其它真空阀门
一、真空充气阀类
1、DDC-JQ系列电磁真空带充气阀
2、DDC-JQ-B系列电磁真空带充气阀
3、DYC-Q系列低真空电磁压差充气阀
4、GYC-JQ系列高真空电磁压差式冲气阀
5、GQC系列电磁高真空充气阀
6、GDC-Q5型、GDC-5型电磁真空阀
二、真空挡板阀类
1、GDC-J型系列电磁高真空挡板阀
2、GDQ型系列气动高真空挡板阀
3、GD-J型系列高真空挡板阀
4、GDQ-J(b)型系列电、气动高真空挡板阀(带波纹管密封)
5、GDQ-J(b)-A型系列气动高真空挡板阀(带波纹管密封)
6、GD-J(b) 型系列手动高真空挡板阀(带波纹管密封)
三、真空蝶阀类
1、GI型系列高真空蝶阀
2、GI-A型系列高真空蝶阀
3、GI-C型系列高真空蝶阀
4、GIQ型系列气动高真空蝶阀
5、GIQ-A型系列气动高真空蝶阀
6、GIQ-B型系列气动高真空蝶阀
7、GIQ-AB型系列气动高真空蝶阀
8、GID型系列电动高真空蝶阀
9、GID-A型系列电动高真空蝶阀
四、真空球阀类
1、GU型系列真空(压力)球阀
2、GUQ型系列气动真空(压力)球阀
3、GUD型系列电动真空(压力)球阀
五、其它真空阀类
1、GW-J-T型系列高真空微调阀
2、GM型系列高真空隔膜阀
3、J611F活塞角座阀
4、ZT-B系列管道阀
5、CC-A型系列超高真空插板阀
6、CCQ-A型系列气动超高真空插板阀
DDC-JQ系列电磁真空带充气阀
DDC-JQ型系列电磁真空带充气阀是安装在机械式真空泵上的专用阀门。阀门与泵接在同一电源上,泵的开启与停止直接控制了阀的开启与关闭。当泵停止工作或电源突然中断时,阀能自动将真空系统封闭,并将大气通过泵的进气口充入泵腔,避免泵油返流污染真空系统。适用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。
注:快卸及活套法兰连接方式请参阅DDC-JQ-B系列电磁真空带充气阀(内有DN100规格).
主要技术性能
适用范围(Pa)
105~1x10-2
阀门漏率(Pa.L/S)
<6.7x10-4
适用温度(℃)
-25~+50
线圈温升(℃)
≤65
开闭时间(S)
≤3
电源电压(V/Hz)
220±10%/50
法兰标准
JB919
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