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建筑玻璃与工业玻璃
ITo电加热玻璃表面减反膜设计
Thedesignofanti—reflectioncoatingOilthesurfaceoflTO electric—heatedglass
秦瑞祥 ’黄友奇 马眷荣 欧迎春
(1海装驻天津地区军事代表局，北京 100073；2中国建筑材料科学研究总院，北京 100024)
摘 要：本文使用TFCalc软件设计和模拟 ITO电加热玻璃表面减反膜，得出在 ITO玻璃基础上沉积氟化镁能有效的
降低表面可见光反射率，通过不同的膜系设计和优化可望获得最佳的减反膜设计。
关键词：ITO；TFCalc；减反膜；光学薄膜；膜系设计理论
Abstract：TFCalcwhichisacoatingdesignsoftisusedtodesing andsimulateAriti—reflectioncoatingdesignedonthesurface
ofITO electric—heatedglassinthisarticle，wecanconcludethatalayerofMgF2depositedontheITO glasscanreducethereflectivity
ofthecoatedITO glassinthevisiblearea，anddifferentcoatingsystemsandoptimizationmeasurescanbeadoptedtoobtainabest
Anti—reflection coating．
Keywords：ITO ；TFCalc； anti～reflectioncoating；opticalcoating；theoryofcoatingsystem design
中图分类号：0484．41；TQ171文献标识码：B文章编号：1003—8965(2011)02—0040-04
1引言 化学计量比偏移 )，二是掺杂效应 (即高价或低价
离子替代 )。一般同时采用上述两种半导化方法 。
ITO薄膜是一种 n型半导体材料，其在可见 薄膜的方块电阻定义 为：
光区具有很高的透过率，对红外光却有很强的反 =p／d
射，这一性能使得 ITO薄膜大量应用于热镜，使 设满足 电加热要求的 ITO表面方块电阻为：
寒冷环境下的视窗或太阳能收集器的视窗将热量 520Q／口，ITO薄膜的电阻率为：p=5×10一
保持在一封 闭的空间里而起到热屏蔽作用。ITO Q ·cm，则 ITO薄膜的膜厚范围为：
薄膜也具有 良好的导电性能，ITO电加热玻璃广 d=p／R几=5×10Q．nm／(5-20OA])250--1000nm
泛用于汽车、火车、电车、航天器等交通工具领域，
实现除冰化霜的功能 …。 3减反膜设计的理论基础
值得注意 的是 ，ITO玻璃在实现热阻隔、
电加热性能的同时，表面可见光透过率会下降 3．1单层减反射膜
10％。本文立足于 ITO 电加热玻璃表面的减反膜 当光线从折射率为n。的介质射入折射率为n1
设计，在保证 电加热性能要求的前提下通过表面 的介质中时，界面的反射率为：
的减反处理实现 ITO 电加热玻璃在可见光区光透 R=((n。-n)／(n。+n。))
过率的提升。 玻璃折射率为 1．52，则表面反射率约为
4．2％ 。
2ITO薄膜的电学性能 为了减少玻璃表面的反射光，可以在玻璃表
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