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表2-3 线纹尺相对测量方式的比较 测量方式 示意简图 优缺点 误差 并联 纵动式 2 1 h 3 工作台作纵向移动,仪器结构尺寸小,由于不符合阿贝原则,故因导轨直线度误差而产生的测量误差为一次误差。 f h 1 并联 横动式 串联 纵动式 1 2 3 1 3 2 工作台作横向移动,仪器结构尺寸小,但只能用于大间隔测量, 因导轨直线度误差而产生的测量误差为二次误差。 工作台作纵向移动,仪器结构尺寸大,温度不易平衡, 要防止两线纹尺的相对位置在测量过程中产生变化,以及显微镜之间距离的变化,但因导轨直线度误差而产生的测量误差为二次误差 f ( 1 2 + 22)l / 2 式中: 1 、 2 — 工作台运动时在水平面与垂直面内的偏转角 l — 显微镜光轴之间的距离
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