阴极弧径向不同位置膜层性能分布规律.pdfVIP

第38卷 第5期 稀有金属材料与工程 、，01．38．No．5 RAREMETALMAnjRIALSAND 2009 2009矩 5月 ENGNEERING May 阴极弧径向不同位置膜层性能分布规律 魏永强，巩春志，田修波，杨士勤 (哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室，黑龙江哈尔滨150001) 摘要：利用阴极弧沉积的方法在201不锈钢基体上制备了TiN薄膜，研究了阴极弧径向不同位置大颗粒、膜厚以及 膜层性能的分布规律。分别采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了膜层的相结构、膜层的表面形貌和截 面形貌。研究了镀膜试样和基体在3．5％(质量分数)NaCl溶液中的腐蚀行为，并利用电化学方法分析其抗腐蚀性能，并 采用球．盘式摩擦磨损、划痕测试以及微小压痕等方法测试了径向不同位置沉积的TiN薄膜摩擦磨损性能、膜基结合力 以及硬度。结果表明，靠近