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Chpt6 Electron diffraction Electron diffraction refers to the wave nature of electrons. However, from a technical or practical point of view, it may be regarded as a technique used to study matter by firing electrons at a sample and observing the resulting interference pattern. This technique is similar to X-ray and neutron diffraction. 电子衍射指当电子波入射到晶体上时，被晶体中原子散射， 各散射电子波之间产生的互相干涉现象。晶体中每个原子均 对电子进行散射，在弹性散射过程中，由于晶体中原子排列 的周期性，各原子所散射的电子波在叠加时互相干涉，散射 波的总强度在空间的分布并不连续，除在某一定方向外，散 射波的总强度为零。 Electron diffraction 电子衍射是电子显微学的重要分支，成为研究 物质微观结构的重要手段。可在电子衍射仪或电 子显微镜中进行。按电子加速电压的高低（或电 子能量高低）分为两类： 低能电子衍射：加速电压为10V~500V （电 LEED 子能量一般为 10~500eV）， 广泛应用于表 面结构分析 高能电子衍射：加速电压≥10KV （电子能 量为10~200keV），TEM 中应用的就是高能电子衍 射 Electron diffraction 微束电子衍射——研究材料中亚纳米尺度颗粒、 单个位错、层错、畴界面和无序结构，测定点群 和空间群。 TEM 中的电子衍射具有原位同时得到微观形貌 和结构信息并进行对照分析的优点，在材料分析 中得到广泛应用。 电子衍射在材料分析中的应用： ⑴物相分析和结构分析 ⑵确定晶体位向 ⑶确定晶体缺陷的结构和晶体学特征 Electron diffraction 电子衍射与X射线衍射比较 相同点： ①以满足或基本满足 布拉格方程为衍射必 要条件； ②衍射花样大体相似， 多晶体为一系列同心 衍射圆环，单晶体为 排列整齐的斑点，非 晶体为一个漫散的中 心圆斑。 Electron diffraction 不同点： ① 电子波波长短，θ角很小，约为10-2rad ，而X射线 的θ角最大接近π/2 。 ②电子衍射采用薄晶样品，其倒易点沿厚度方向延 伸成杆，增加了与反射球交截的机会，使得偏离 布拉格条件的电子束也能产生衍射。 ③反射球半径很大，在衍射角很小的范围内，反射 球面可看作一个平面，电子衍射产生衍射斑点大 致分布在一个二维倒易平面内。 ④原子对电子的散射比对X射线要强，电子衍射强度 较大，摄取衍射花样曝光时间仅需数秒。 Electron diffraction 电子衍射的不足之处： ⑴电子衍射强度有时几乎与透射束相当，以致两者 产生交互作用，使电子衍射花样，特别是强度分 析变得复杂，不能象X射线那样从测量衍射强度 来广泛的测定结构。 ⑵散射强度高导致电子透射能力有限，要求试样 薄，这就使试样制备工作较X射线复杂；在精度 方面也远比X射线低。 X射线衍射与电子衍射（TEM上） X射线衍射与电子衍射（TEM上） 分析方法的比较