三维压电加速度传感器的设计.pdfVIP

维普资讯 第25卷第5期 压 电 与 声 光 Vo1．Z5No．5 2OO3拉1off PIEZOELECTRICS AC0USTOOPTICS OCt．2003 文章编号 ：1004—2474(2003)05—0379—03 三维压电加速度传感器的设计 黄朋生，任天令，楼其伟，刘建设，刘理天 (清华大学 微电子研究所，北京 100084) 摘 要：设计了一种基于 MEMS的单片三维压电薄膜加速度传感器 ，传感器采用单一质量块和四方梁的高度 对称结构。对传感器结构进行理论分析和计算 ，研究了传感器设计中几个因素间的相互制约关系。用有限元软件 ANSYS进行 了不同加速度条件下传感器的静态和模态分析 。模拟结果表 明传感器能够同时独立测出 、y、Z三个 方 向的加速度 ，其灵敏度分别为 2．76×10 V ·sz／m、2．76× 10 V ·s。／m、2．96X10 V ·s。／m，并且横 向灵敏 度几乎为零。 关键词 ：三维加速度计 ；微传感器；压电薄膜；PZT；MEMS 中图分类号 ：TP212 文献标识码 ：A Design ofaTriaxialPiezoelectricAccelerom eter HUANGPeng—sheng·RENTian—ling，LOUQi。wet，LIUJian。she，LIULi—tian (InstituteofMicroelectronics。TsinghuaUniversity。Beijing100084．China) Abstract：A monolithicMEMStriaxialaccelerometerbasedon leadzirconatetitanate(PZT)thinfilmswith highlysymmetricquad-beamsandaseismicmasshasbeendesignedandsimulated．Theoreticalandnumericalrood- elsBrtheaccelerometerhavebeer,presented．StaticandmodalsimulationswithFEM (FiniteElementM ethod) simulatorhavebeenperformedtOanalyzethemechanicalresponse．Itshowsthatthesensitivitiesofthethreeaxes ( ，y，Z)arerespectively22．76×10一V ·S2／m，2．76X10一 V ·S2／m and2．96X 10一V ·S2／m，andthereisal— mostnotransversesensitivityfortheaccelerometer． Keywords：triaxialaccelerometer；micro—sensor；piezoelectricthin-film ；PZT；M EMS 1 引言 2 三维压 电加速度传感器设计 加速度测量是微传感器领域 中最富挑战性 ，最 2．1 器件结构 富发展前景的领域之一。高可靠性、高灵敏度、微型 设计的加速度传感器结构 图 1所示 引。 化的加速度计越来越为汽车工业、航天、生物、医学 等领域所需要。目前的加速度计类型有压阻式 u、电 容式 、压 电式E、隧道式E引、热 电式、谐振式、磁感 应式、光学式等。随着MEMS技术的快速发展，使 传感器和 电子部件集成于 同一衬底的单片系统 ，将 是微传感器的发展主流。 将铁 电薄膜集成于硅片上制作微型加速度计， 利用质量块随速度 的变化对 PZT薄膜产生压力变 化导致的压 电电荷输 出来进行加速度测量，此设计 的优越之处，就是形成一个单片 (monolithic)系