《数控原理与系统》第3章 数控位置检测装置.ppt

（2）方向性好。 普通光向四面八方发光，而激光散射角很小，几乎与激光器的反射镜面垂直。如配置适当的光学准直系统，其发散角可小到10-4rad以下，几乎是一束理想平行光； （3）高度单色性。 普通光源包括许多波长，所以具有多种颜色。如日光包含红、橙、黄、绿、青、蓝、紫七种颜色，其相应的波长从760~380nm。激光的单色性高，如氦氖激光的谱线宽度只有10-6nm。 （4）高亮度。 激光束极窄，所以有效功率和照度特别高，比太阳表面高200亿倍以上。 由于激光具有以上特点，因而广泛应用于长距离，高精度的位置检测。 1.激光干涉法测距原理 根据光的干涉原理，两列具有固定相位差、相同频率、相同的振动方向或振动方向之间夹角很小的光相互交叠，将会产生干涉现象。如图3.22所示， 由激光器发射的激光经分光镜A分成反射光束S1和投射光束S2。两光束分别由固定反射镜M1和可动反射镜M2反射回来，两者在分光镜处汇合成相干光束。若两列光S1和S2的路程差为Nλ(λ为波长，N为零或正整数），实际合成光的振幅是两个分振幅之和，光强最大，如图3.23（a）所示。当S1和S2的路程差为λ/2（或波长的奇数倍）时，合成光的振幅和为零，如图3.23（b）所示，此时光强最小。 图3.22 激光干涉法测距原理图 图3.23 激光干涉法测距波形图 激光干涉仪就是利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条纹，由光电转换元件接受并转换为电信号，经处理后由计数器计数，从而实现对位移量的检测。用激光干涉法测距的精度极高。 激光干涉仪是由激光镜、稳频器、光学干涉部分、光电接受元件、计数器和数字显示器组成。目前应用较多的有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。 2.单频激光干涉仪 如图3.24所示，为单频激光干涉仪原理图，激光器1发出的激光束，经镀有半透明银箔层的分光镜5将光分成两路，一路折射进入固定不动的棱镜4，另一路反射进入可动棱镜7。经棱镜4和7反射回来的光重新在分光镜5处汇合成相干光束，此光束又被分光镜分成两路，一路进入光电元件3，另一路经棱镜8反射至光电元件2。 图3.24 单频激光干涉仪原理图 由于分光镜5上镀有半透明反射的金属膜，所以产生的折射光和反射光的波形相同，但相位上有变化，适当调整光电元件3和2的位置，使两光电信号相位差90°。工作时两者相位超前或滞后的关系，取决于棱镜7的移动方向，当工作台6移动时棱镜7也移动，则干涉条纹移动，每移动λ/2，光电信号变化一个周期。如果采用四倍频电子线路细分，采用波长λ=0.6328μm的氦-氖激光为光源，则一个脉冲周期信号相当于机床工作台的实际位移量为 单频激光干涉仪使用时受环境影响较大，调整麻烦，放大器存在零点漂移。为克服这些缺点，可采用双频激光干涉仪。 3.双频激光干涉仪 双频激光干涉仪的基本原理与单频激光干涉仪不同，是一种新型激光干涉仪，如图3.25所示。它是利用光的干涉原理和多普勒效应产生频差的原理来进行位置检测的。 图3.25 双频激光干涉仪原理图 激光管放在轴向磁场内，发出的激光为方向相反的右旋圆偏振光和左旋圆偏振光，其振幅相同，但频率不同，分别用f1和f2。经分光镜M1，一部分反射光经偏振器射入光电元件D1作为基准频率f基（f基= f2-f1）。另一部分通过分光镜M1的折射光到达分光镜M2的a处，频率为f2的光束完全反射经滤光器变为线偏振光f2，投射到固定棱镜M3后反射到分光镜M2的b处。频率为f1的光束完全反射经滤光器变为线偏振光f1，投射到固定棱镜M4后反射到分光镜M2的b处，两者产生相干光束。若M4移动，则反射光的频率发生变化而产生多普勒效应，其频差为多普勒频差 。 频率为 的反射光与频率为f2的反射光在b处汇合后，经检偏器射入光电元件D2，得到测量频率 的光电流，这路光电流与经光电元件D1后得到频率为f基的光电流，同时经放大器放大进入计算机，经减法器和计数器，即可算出差值 、可动棱镜M4的移动速度v和移动距离L 为 式中，N是由计算机纪录下来的脉冲数，将脉冲乘以半波长就得到所测位移长度。 双频激光干涉仪与单频激光