粗光栅线位移测量系统细分误差补偿前后的精度分析.pdf

第 卷 第 期 计 量 学 报 123 4 !， ! # 5 # 年 月 ， !$$! # %’% ()’*+,+-.% /.0.% 678 4 !$$! !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 文章编号： （ ） #$$$! ##9: !$$! $#!$$!;!$ 粗光栅线位移测量系统细分误差补偿前后的精度分析 林 鹏， 陈小强， 袁祥辉， 廖念钊 （重庆大学光电技术及系统开放实验室，重庆 $$$ ） 摘要：本文针对粗光栅线位移测量系统的误差来源，在大量实验的基础上，经过理论分析，得出细 分误差与本底噪声的线性关系式，找到了系统修正误差时的理论依据。同时对系统在细分误差补偿前 后作了精度分析。 关键词：粗光栅；细分误差；精度分析 中图分类号： 文献标识码： ’=!# % !#$%%’( )(*+,% ’( -.# /’*# 0*-%(1 2%(#* 3($’4# 5#6’# *(4 )6-# 3+%7%(*-%(1 -.# 89:4%;%%’( 3’ ,.0 ?@8A， B)0 CD72EFD78A， GH%0 CD78AEIJD， ,.%+ 0D78EKI72 （ ， ， ， ） +L@8 ,7M2N7O2NP Q2N +LO2@3@RON28DR ’@RI8232AP 78S /PTO@U I28AFD8A H8DV@NTDOP I28AFD8A $$$ ID87 ： ， !#$%’$ B7VD8A N@T@7NRI@S OI@ @NN2N T2JNR@ 2Q OI@ R27NT@ AN7OD8A 3D8@7N @8R2S@N OI@ L7L@N 7873PK@S OI@ @WL@NE DU@8O S7O7， ， OI@8 SN7X OI@ 3D8@7N N@37OD28 M@OX@@8 OI@ TJMSDVDTD28 @NN2N 78S M7RYAN2J8S 82DT@ XIDRI R78 M@ JT@S 7T OI@2N@ODR73 M7TDT XI@8 7U@8SD8A 82DT@ 4 (@78XID3@ OI@ TPTO@U LN@RDTD28 I7T 73T2 M@@8 7873PK@S M@Q2N@ 78S 7QO@N OI@ TJMSDVDTD28 @NN2N X7T R2UL@8T7O@S 4 ： ； ； ()* +,%-# 27NT@ AN7OD8A /JMSDVDTD28 @NN2N ?N@RDTD28 7873PTDT 化的细分误差。前者主要是安装误差，在消除细分 # 引言 误差后，由于其变化在局部范围是线性的，可以由软