传感技术-第四章101.ppt

计算由温度T决定的正比于温度T的输出信号F(T)，这个量与光源温度无关，仅与由温度T决定的折射率变化有关。 4.3.3 折射率调制式光纤温度传感器（传感型） 相位调制光纤干涉仪制成的温度传感器以马赫－泽德光纤干涉仪最为典型。 马赫－泽德光纤温度传感器 干涉仪包括激光器、扩束器、分束器、两个显微物镜、两根单模光纤、光探测器等。干涉仪工作时，激光器发出的激光束经分束器分别送入测量光纤和参考光纤，将两根光纤的输出端汇合在一起，则两束光产生干涉，从而出现干涉条纹的变化信息，并输入到适当的数据处理系统，最后得到测量结果。 4.3.4 相位调制式光纤温度传感器（传感型） 4.3.4 相位调制式光纤温度传感器（传感型） 薄膜热电偶以陶瓷薄片作基体，厚度0.6mm，耐高温1600℃。在陶瓷基片有两φ0.2小孔。将φ0.2标准NiCr－NiSi热电偶丝分别嵌入小孔，使其与小孔过渡配合，在陶瓷基片背面用高温无机绝缘胶固定热电偶丝，经过研磨使热电偶端面与陶瓷基片正面平齐，在其上溅射钽（Ta）薄膜，厚度0.7μm，在钽膜片（吸收光辐射）上镀保护膜Si3N4（厚度0.1μm）。 4.2.2 薄膜热电偶 其动态响应时间为50μs，线性度好，可在1200℃下长期工作，可快速检测锻模具外壁面