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- 2018-03-27 发布于北京
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1.实验目的
考查在坩埚内壁喷涂加有聚乙烯醇的氮化硅涂层后的粘埚情况,探索出一个更好的涂层配方。 2.仪器设备
水浴锅 搅拌器 刷子 铸锭炉 3.实验原料
聚乙烯醇 氮化硅 220型坩埚 2.6kg硅料 4.实验步骤
4.1溶解聚乙烯醇:将10g聚乙烯醇放入装有200ml水的烧杯中置于水浴锅中加热,水浴温度在一个小时内从28摄氏度升高到90摄氏度。;
4.2水浴温度达到90摄氏度后保持10分钟,加入20g氮化硅并用搅拌器搅拌20分钟;
4.3用纱网对溶液过滤除去里面的絮状沉淀,再用刷子将制备的溶液均匀涂抹在坩埚内壁
4.4 按现有工艺烘烤坩埚后加入2.6kg硅料放于DSS炉按对应配方铸锭
4.5 出炉观察、分析。 5.实验现象和数据
5.1 烘烤后的坩埚涂层很硬不容易脱落。
5.2硅锭上表面边缘与坩埚接触处有少许粘埚,未出现大面积的粘埚,如图所示
5.3 坩埚上部未与硅锭接触的地方涂层消失。 6.数据分析
7.实验结论
7.1加入聚乙烯醇后氮化硅涂层更硬,也不会出现大面积粘埚。
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