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4.5 光栅传感器 待解决问题 什么是光栅？ 如何利用光栅测量位移？ 光栅传感器的结构及相关技术？ 4.5 光栅传感器 4.5.1 莫尔条纹形成的原理 4.5.2 莫尔条纹技术的特点 4.5.3 光栅的光路 4.5.4 光栅传感器的结构 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术 4.5.1 莫尔条纹形成的原理 在aa’线上，两块光栅的栅线重合，透光面积最大，形成条纹的亮带，它是由一系列四棱形图案构成； 在bb’线上，两块光栅的栅线错开，形成条纹的暗带，它是由一些黑色叉线图案构成。 莫尔条纹的形成是由两块光栅的遮光和透光效应形成的。 θ越小，BH越大，相当于把栅距W放大了1/θ倍。 例如：θ=0.1°，则1/θ≈573。 即莫尔条纹宽度BH是栅距W的573倍。 说明光栅具有位移放大作用， 从而提高了测量的灵敏度。 例1：某光栅每毫米刻线100条，光学放大倍数为1000，当光栅移动一个栅距时，就移动一个莫尔条纹，问产生的莫尔条纹有多宽？ 例3：试画出光电器件产生电信号的波形图 径向光栅进行角度测量 4.5.3 光栅的光路 透射光路 反射光路 （1）透射式光路 （2）反射式光路 4.5.4 光栅传感器的结构 计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大类； 均由光源、光栅副、光敏元件三大部分组成； 计量光栅按形状又可分为长光栅和圆光栅。 钨丝灯泡： 输出功率较大，工作范围较宽（-40℃到+130℃）； 与光电元件相组合的转换效率低； 在机械振动和冲击条件下工作时，使用寿命将降低。 半导体发光器件: 转换效率高，响应特征快速。 砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns。 二、光栅副：指示光栅＋主光栅 三、光电元件 包括有光电池和光敏三极管等部分。 固态光源——需要选用敏感波长与光源相接近的光敏元件，以获得高的转换效率。 在光敏元件的输出端接有放大器，通过放大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。 4.5.5 辨向原理 单个光电元件接收一固定点的莫尔条纹信号，只能判别明暗的变化而不能辨别莫尔条纹的移动方向，因而就不能判别运动零件的运动方向，以致不能正确测量位移。 如果能够在物体正向移动时，将得到的脉冲数累加，而物体反向移动时可从已累加的脉冲数中减去反向移动的脉冲数，这样就能得到正确的测量结果。 辨向光路设置 辨向电路 4.5.6 细分技术 提高分辨力方法： 在选择合适的光栅栅距的前提下，以对栅距进行测微，电子学中称“细分”，来得到所需的最小读数值。 细分就是在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲，而是输出若干个脉冲，以减小脉冲当量提高分辨力。 （1）直接细分 直接细分又称位置细分，常用的细分数为4。 四细分可用4个依次相距的光电元件，在莫尔条纹的一个周期内将产生4个计数脉冲，实现了四细分。 优点：对莫尔条纹信号波形要求不严格，电路简单，可用于静态和动态测量系统。 缺点：光电元件安放困难，细分数不能太高。 （2）电阻电桥细分法（矢量和法） （c）电阻链细分法（电阻分割法） 产 品 5、应用介绍 1-光源 2-准直透镜 3-主光栅 4-指示光栅 5-光电元件 在透明的玻璃上均匀刻划条纹 此光路适合于粗栅距的黑白透射光栅。 特点：结构简单，位置紧凑，调整使用方便，应用广泛。 透射式光栅 1反射主光栅 2-指示光栅 3-场镜 4-反射镜 5-聚光镜 6-光源 7-物镜 8-光电电池。 在具有强反射能力的不锈钢或玻璃镀金属膜上，均匀的刻划条纹。该光路适用于黑白反射光栅。 反射式光栅 问题3：光栅传感器的结构及相关技术？ 反射式扫描头 （与移动部件固定） 可移动电缆 光栅的外形及结构 防尘保护罩的内部为长磁栅 扫描头（与移动部件固定） 光栅尺 可移动电缆 光栅的外形及结构（续） 一、光源 a+b=W； a=b=W/2 W为光栅的栅距（或光栅常数） 在相距 的位置上设置两个光电元件1和2， 以得到两个相位互差90°的正弦信号 正向移动时脉冲数累加，反向移动时，便从累加的脉冲数中 减去反向移动所得到的脉冲数，这样光栅传感器就可辨向。 辨向电路各点波形图 未细分(a)与细分(b)的波形比较 用此信号去触发施密特电路 电阻电桥细分法用于10细分 等电阻链细分电路 实质：用电阻衰减器来进行细分。 光栅位移传感器 *信息工程学院 * *信息工程学院 * 光栅传感器 光栅传感器 机床配置光栅尺，4轴移动(X, Y, Z, W)； 用于各种材质大型工件加工,如铸铁,铸钢,及不锈钢； 在铣、镗、铰和螺纹操作方面有着广泛技术应用。 莫尔条纹演示 定义：指有按一定要求或规律排列的刻槽