超级洁净室的设计.pdf免费

文档来源:空气过滤器 无尘室 FFU层流罩 空调过滤器 诺袭 函数腾 ’揪 I案吁 I ． 超级洁净室的设计 扬淑 芬 ；牛． 、， 、 ／ 当前国外集成 电路发展的特点是： 过滤器最好具有 99，9999％ 以上的效率。据 l、对洁净度的要求越来越严格。净化 了解，0．1／xa量级的高效过滤器的滤料仍是 控制的粒子 l960年是 0．5Ⅱn以后是 0-3Ⅱn 玻璃纤维纸，只是根据过滤的粒径 和效率不 现在是 0．1／xa甚至更小 。 同采用不同等级的玻璃纤维纸而 已。 2，工艺设备一般 3～5年就需更新一 高效过滤器的检测用 DOP法，检 测仪 次。 器为激光粒子计数器，对每 台过滤器都要扫 3、对温湿度 已出现要求控制 4-0．1℃ 描检测 。 的恒温条件 。 在考察中，除了解上述情况外，还了解在 从 以上特点可 以看出，解决 0．1x／a量级 超级洁净室中实际使用的多种形式的过滤器 的尘粒控制是超级洁净室设计中的主要任务。 组件，即国外以高效过滤器为基础发展了多 要完成这个任务要从下列几方面着手。 种形式 的过滤器组件 。 l、生产出适应于 O~lx／a量 级的高效过 l、与照 明灯相结合的过滤器组件 滤器 。 过滤器在上，照明灯管在下．在制造厂 2、解决高效过滤器的安装及 设置 问 就 已组装成产品(图1)。这种产品既解决了 题 。 设计中净化与照明在顶棚下安装时争位置的 3，充分利用气流组织严格控制尘源． 矛盾，又解决了安装中的繁锁手续，已在工程 4，综合运用上述三方面的成果建设实 设计中大量采用。 用的超级洁净室。 2与消防喷洒器相结合的过滤器组件 本文结合对美国几个超级洁净室的考察 在过滤器框架中考虑留有消防喷洒器的 对设计方案进行介绍和探讨。 安装位置 。框架的上部留有管接头与消防系 一 、 0．1um■级的高效过滤器 统连通 。框架的下部即为喷洒头。这种产品 国外对 0．1／xa量级的高教过滤器舶研究 【图2)大大节省了设计和施工的配合工作， 已转到生产阶段并 已有商 品 化产品。据了解美国用于 100 级洁净度的高效过滤器其效 率用 0．1 n粒径来标定。其 它标准 的过滤器 则用 0．3脚 粒径来标定，根据 国外对地球 大陆部分空气中气溶胶粒 径 一 一 铺节阀 分布 的研究，≥0．1／xa粒子浓 度 比 ≥0．5x／a粒 子浓度平 均 灯