1级洁净室在工程中的应用.pdf免费

文档来源:空气过滤器 洁净室 FFU层流罩 空调过滤网 2001年第 3用 1级洁净室在工程 中的应用 电子第十一设计研 究院 张 吉银 文 摘 奉文从洁净室空调净化设计所采用 的01p．m无 隔板超 高效空气过滤器的性 能 、液槽密封装置 、 自动拉制 、防微振措施及测试效果等方面介绍 了 1级洁净室 (美 国 联邦标准一209E对于 01m粒子 ，≤35O粒 ／ft~)在 I程 中的应用情况 关键词 洁净室设计 、0．1ttm超高效过滤器 ， 自控 、效果 。 Abstract Thispaper introduces an engineering application ofclass 1 cleanroomsfnot more than 35．0 particles／ft3ofa size 0．1m and larger,FDS一2o9E)，focusing atthe aspects of performance of 0．1 m ultra low penetration air filtersfULPA for abbre~,iation)．flume sealing installalion，autocontro 】and effeeloftest． Key words Clemamom design 0．1tLmULPA Autocontrol Efiectoftest 良好 的环 境条件 ，为我 国 白行研制和施工大面积高级 1 概述 别洁净室 打下了基础 。现将该工程有关 的设计安装及 受原 电子部某研究 所委托 ．我院承担 了国家下达 其主要设施作一简要介绍 。 的 8．5”院所技 改项 目研制开发线环境工程的设计 ， 2 工艺要求的主要技术指标见表 1 施工 ，安装 ，调试 的工程总承包工作 1996年 3月 ， 基本完成设计和施工 ，系统 开始运行 ．接着系统调试 3 工艺布局 和工艺设备二次配管 工作 ．1997年 11月通过验收。经 过三年时间的连续运行考验说 明系统运行正常 ，性能 【1J在现有条件下 ，工艺布置成隧道式结掏 。把级 可靠 ，各项指标满足工艺要求 ，为研制开发线创造 了 别要求最高的光刻间布置在靠近空调机房而远离人流 。 寰 主要技术指标 面积 温度 相对湿度 噪声 序号 工序名称 洁净度 备注