ESD 新进人员讲义.pptVIP

ESD 防護講義 ESD防護-基礎知識 一.??? 靜電產生的原理 :? 1. 摩擦: 絕緣體之間磨擦而產生靜電 2. 傳導: 電荷轉移 3. 感應:帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電. 靜電感應只對導體和半導體才有作用. ESD防護-基礎知識 二. 靜電電荷產生的種類: 1. 摩擦 2. 分離 3. 電場感應 4. 傳導 ESD防護-基礎知識 三.靜電電荷對微電子工業的影響: 1. 微粒污染: 在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.1 ~1.0微米之間的顆粒沉積的主要原因. 當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵. 2. ESD失效: 靜電放電時當放電電流過大, 產生過高熱能, 將會擊穿集成電路內部線路. 3. 三種擊穿現象: 1. 熱擊穿: P-N破壞 2. 介電擊穿: 氧化層的破壞 3. 金屬汽化: 金屬線被汽化而開路 ESD防護-基礎知識 ESD防護-基礎知識 靜電放電的三種型式: 1. 人體型式: 當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電, 若不及時將靜電 釋放給大地, 而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞. 2. 微電子器件帶電型式: 在自動化生產過程中, 一些塑料器件因摩擦產生靜 電, 通過ESD敏感裝置接觸, 造成損壞. 3.場感應型式: 在有強電場圍繞時, 能通過感應方法損壞ESD敏感裝置 . ESD防護-基礎知識 靜電電荷的消除原理: 1. 接地: 將導體材料接通大地, 把靜電電荷傳導到大地. 2. 離子中和: 用離子發生設備產生離子, 來中和物體表面所帶靜電荷. 3. 屏蔽: 用高導電性材料做成屏蔽層, 使ESD敏感裝置不受外界靜電場損壞. ESD防護-基礎知識 降低靜電釋放方法(對靜電壓超過+/-200V,離電荷源12 inch內未被保護之ESDS設備的ESD保護區和工作站應採用防靜電措施): 靜電預防 電荷中和 抗靜電溶劑處理 相當濕度控制 空气電離機 外殼保護罩 ESD防護服 ESD 防護-系統架構 ESD防護-最低要求 A. 操作ESD敏感材料之作業規定﹔ B. ESD敏感材料之出貨包裝規定﹐若適用﹒ C. 操作ESD敏感材料人員之教育訓練﹔ D. ESD防護之制程管制要求及執行成果稽核. ESD防護要求說明 ESD標識: 對0~4000V的靜電排放敏感性電子元件須標識. 靜電敏感元件包裝: 運輸﹑儲存﹑或不在放靜電工站之所有靜電敏感元件皆要用可導電的或經許可的包材封裝, 當使用放靜電包材時, 元件應充分包裝或接地. 每個零件包裝箱上應貼ESD敏感元件警告標簽. 包材應能防止元件滑動. ESD防護要求說明 操作要求: 作業員要帶靜電帶(靜電環)或腳靜電帶排放,或用离子空气中和靜電. 零部件只可用箱子或PWB絕緣片箱分別包裝. 靜電敏感零部件在未到無靜電排放工站前因使用自身的防護性包裝. 接触工件的人員﹑包材﹑工站台面﹑凳均需接地﹐ 所有帶靜電之危險物品應移出. ESD防護操作要求 所有的連接器產品都不需要ESD防護措施. 裝配印刷電路板, 操作集成電路設備時,ESD預防措施都是必不可少的. 所有加工集成電路設備的操作人員必須帶抗靜電環. 當操作集成電路裝置時,工作台面必須放置導電桌墊. 包裝盒箱袋和搬運工具可用抗靜電材料製成,以保護客戶操作免于被ESD沖擊,這是每個客戶的要求. ESD 檢測設備要求 靜電壓表/靜電場表應能檢測超過+/-200V靜電壓. 用于查核ESD不間斷接地的量測儀應能檢出小于1ohm的電阻值. 用于量測工作臺表面電阻的量測儀應能讀出1012 ohm電阻率及小于它的值. ESDS設備接地保護 ESD接地: a. 接裝置地線(如:使用三极插座中的第三极), 或专用的大地接地,并保证接地电阻低于1Ω. b.专用接地线要使用铜编织线、有线式防静电手环、导电性桌垫、设备上除电源外和接地器等要通过导线与专用接地线相连，或者使用导线將上述设施与三极插座的接地端相连. c. 整个建筑物必须要有一个集中的接地系统. d.所有新的专用接地保护线和电源地线要经过技术人员的全检确认方可投入使用. e.用来检测防静电专用接地线的仪器、仪表等要求能测出小于1Ω的电阻值。 ESDS設備接地保護 2.ESD接地系統安全檢查: 現場安全工程師必須在最初使用時檢查ESD保護工作站上所有新的或改過的ESD接地連接是否安全可靠. 3.ESD保護工作臺ESD接地: 接地的ESD保護工作站的設計和結構應保證所有外部零件﹑表面﹑電子設備及電力儀器總是保持在零電勢,每個ESD工作站應分別連接ESD接地,當一個工作站有多個ESD工作臺面被使用時, 每個臺面應分別與ESD接地相連. ESD保護工作臺 靜電逸