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环境扫描电子显微镜 1. 环境扫描电镜的优点 高分辨率，高倍数，大景深。 没有高真空的限制。 微区成分分析。 试样制备较简单。 2. 扫描电镜应用实例 断口形貌分析 纳米材料形貌分析 生物样品的应用 3. 扫描电镜的工作原理 4、SEM中的三种主要信号 各种信号的深度 4. 扫描电子显微镜的构造 电子光学系统 信号收集及显示系统 真空系统和电源系统 电子光学系统 由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。 其作用是用来获得扫描电子束，作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径 5. 扫描电镜衬度像 二次电子像 背散射电子像 x射线元素分布图。 5.3 背散射电子像 背散射电子既可以用来显示形貌衬度，也可以用来显示成分衬度。 1. 形貌衬度 用背反射信号进行形貌分析时，其分辨率元比二次电子低。 因为背反射电子是来自一个较大的作用体积。此外，背反射电子能量较高，它们以直线轨迹逸出样品表面，对于背向检测器的样品表面，因检测器无法收集到背反射电子，而掩盖了许多有用的细节。 2. 成分衬度 样品中重元素区域在图像上是亮区，而轻元素在图像上是暗区。利用原子序数造成的衬度变化可以对各种合金进行定性分析。 背反射电子信号强度要比二次电子低的多，所以粗糙表面的原子序数衬度往往被形貌衬度所掩盖。 两种图像的对比 5.3 x射线元