生产制程观念建立.pptVIP

生产制程观念 建立 职责 工程单位： 量产机台的recipe建立、SPC控管规格修正的提出。 整合单位： 各管制Item的规格建立规格修正的判定。 生产技术单位: 新开发机台的recipe建立 制程建立流程 确认(决定)制 量测机台过 管制项目是否会被 Yes制定环境管制 程管制项目 选定及校正 环境或材料所影响 规格并控管 No 数据分析 实验设计 Process Trend Chart 建立 Finalized Recipe Setup(Modify)SPC Control Chart Caused by Spec/ SPC Monitoring(OOC,OOS,Cp/Cpk) NG Control Limit issue OK Caused by EQ issue Identify EQ or Spec/Control Limit issue END Trouble shooting 制程基本观念  对于制程反应机制的基本原理之了解, 以及对设备设计的了解为建立制程参数(Recipe)的基础, 故要成为一位优秀的工程师必须同时具有制程与设备的能力 制程基本观念 稳定的制程是良率确保的基础, 因此对于任何会影响到制程管制项目的因子都必须被分析后加以控管, 这也就是Process Window的观念, 也是制程建立必备的最基本观念.。另外一个非常重要的制程基本观念是:任何的制程参数变更都潜在有非常大的风险, 因此机台参数严禁任意变更;要变更机台参数必须先经过严谨的实验验证, 实验的结果经过相关单位的讨论并一致同意后才可以用TECN或ECN的方式变更。 制程建立要领 举例说明: PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) SiN Deposition 确认制程管制项目: *Thickness/Non-Uniformity *N (Reflective Index) *Stress *Si-H, N-H Content (film quality) *HF etch rate (Profile control) 制程建立要领 2. 选定量测仪器或治工具, 并确认量测仪器经过校正: (GRR Cross Fab. Calibration is needed, if possible). ***量测的可靠性是制程调整的基础, 无可靠的 量测系统容易误导判断,事倍功半浪费时 间。 *Thickness/Non-Uniformity : Ellipsometer *N (Reflective Index) : Ellipsometer *Stress : alpha Step *Si-H, N-H Content (film quality) : FTIR *HF etch rate (Profile control): HF Dip Stress Compressive Stresses(压缩应力, 为负值) Tensile Stresses(拉伸应力, 为正值) Stress示意图 Film/Substrate Compressive Stress on Substrate Tensile Stress on Substrate因异质材料的热彭涨系