利用普通视频CCD作为紫外激光和软X射线探测器的研究.pdfVIP

第16 卷 第2 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 16 ，No. 2 2004 年2 月 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Feb. ，2004 文章编号：1001-4322（2004 ）02-0185-04 利用普通视频 CCD 作为紫外激光 和软X 射线探测器的研究* 马景龙， 马维义， 周创志， 胡风明， 龚 堃， 单玉生， 王乃彦 （中国原子能科学研究院，北京 1024 13 ） 摘 要： 介绍了利用价格便宜的普通视频CCD 来获取紫外激光和软X 射线图像的方法和应用结果，以 代替价格昂贵的紫外CCD、使用不方便的X 光胶片或者昂贵的X 光CCD ，其关键点是：（1 ）去除CCD 相机的自 动增益校正；（2 ）将相机的校正系数 值设置为1；（3 ）去除CCD 相机前面的保护窗。作为一种简易的装置，可 γ 以用于紫外激光测量及激光与等离子体相互作用研究。结果表明，采用改造后的普通视频CCD 测量紫外激光 光斑，准确可靠，其灵敏度比科学级紫外CCD 的低一个量级，它还可以测量软X 射线的二维分布，作为X 光针 孔相机使用非常方便。 关键词： CCD ； 紫外激光； 软X 射线 中图分类号：TN247 文献标识码：A ［1］ KrF 激光因其波长短、频带宽、可平滑性好等特点，在直接驱动ICF ，IFE 和EOS 研究中受到广泛重视 。 在激光器件的研制及激光与物质相互作用的研究中，紫外CCD 被广泛地用来进行光束的准直、调焦和远近场 分布的测量。一般CCD 对紫外光是不敏感的，经过特殊处理的紫外CCD 目前价格比较昂贵，仅被用来进行较 为准确的数据测量，而由激光等离子体产生的软X 射线二维分布和光谱，则用X 光针孔相机来获取，以更好地 ［2 ］ 反映激光的聚焦性能 。一般的针孔相机利用X 光胶片作为记录体，存在许多缺点，比如不在线、调整困难、 引入误差的环节较多等等，当然使用X 光CCD 仍然是最好的解决方案，但是因为X 光CCD 价格昂贵，很少有 ［3 ，4 ］ 人将它作为针孔相机探测器。使用普通的视频CCD 作为软X 射线的探测器已经多有报道 ，我们将这种方 法应用到“天光一号”KrF 激光的等离子体诊断中，同时也将这个方法推广到直接测量紫外激光的分布，实验证 明这种方法是可行的。 1 利用普通视频CCD 测量紫外光和软X 射线的原理 一般的CCD 表面结构从上到下依次是：作为保护层的SiO （约2 m ），多晶硅电极（零点几 m ），n 型硅 2 µ µ （零点几 m ），p 型硅耗尽层（约2 m ），p 型硅衬底（几百 m ）。某种波长的光子必须穿透表面层，将能量沉积 µ µ µ 在耗尽层中，CCD 才能输出信号。CCD 对波长为 的光子响应的量子效率为［3 ］ λ S = exp（- l - l ）× ｛1 - exp［- （l + l ）］+ L/ （ L + 1 ）exp（- l ）｝ （1 ）