垂直梳齿驱动的大尺寸犕犗犈犕犛扫描镜.docVIP

第 ２１ 卷 　 第 ２ 期 ２０１３ 年 ２ 月 　 　 　 光学 精密工程 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎｇ 　 　 　 　 　 　 　  Ｖｏｌ．１　Ｎｏ． 　 Ｆｅｂ．０１３  文 章 编 号 　１００４９２４Ｘ（０１３）２０４０００８ 垂直梳齿驱动的大尺寸 犕犗犈犕犛扫描镜 刘英明１，２ ，徐　静１，钟少龙１，翟雷应１，吴亚明１ （１．中 国 科 学 院 上 海 微 系 统 与 信 息 技 术 研 究 所 微 系 统 技 术 重 点 实 验 室 传 感 技 术 联 合 国 家 重 点 实 验 室 ，上 海 ２０００５０； ．中 国 科 学 院 大 学 ，北 京 １０００３９） 摘 要 ：提 出 了 一 种 采 用 垂 直 梳 齿 驱 动 器 驱 动 的 大 尺 寸 、大 扭 转 角 度 、低 驱 动 电 压 微 光 机 电 系 统 （ＭＯＥＭＳ）扫 描 镜 。 理 论 分 析 了 垂 直 梳 齿 驱 动 器 的 工 作 原 理 ，研 究 了 垂 直 梳 齿 的 制 作 工 艺 ，采 用 体 硅 加 工 工 艺 结 合 硅硅 键 合 工 艺 制 作 了 垂 直 梳 齿 驱 动 的 ＭＯＥＭＳ 扫 描 镜 。 制 作 的 扫 描 镜 镜 面 尺 寸 为 ３ ｍｍ×２ ｍｍ，谐 振 频 率 为 １．２ｋＨｚ。 测 试 表 明 ，该 扫 描 镜 镜 面 具 有 很 好 的 光 学 表 面 ，其 表 面 粗 糙 度 的 均 方 根 只 有 ８．４ｎｍ；扫 描 镜 在 驱 动 电 压 为 ９５ Ｖ 时 可 以 实 现 最 大 ２．°的 扭 转 角 度 ；测 得 其 开 启 时 的 响 应 时 间 为 １．８７ ｍｓ，关 断 时 的 响 应 时 间 为 ４．１８ ｍｓ。 关 　 键 　 词 ：微 光 机 电 系 统 （ＭＯＥＭＳ）；扫 描 微 镜 ；垂 直 梳 齿 驱 动 器 ；体 硅 工 艺 中 图 分 类 号 ＴＨ７０３　 　 文 献 标 识 码 ： 　 　犱狅犻：０．７８８／ＯＰＥ．０１３２１０２．４００ 犔犪狉犵犲狊犮犪犾 犕犗犈犕犛狊犮犪狀狀犻狀犵犿犻狉狅狉犪犮狋狌犪狋犲犱犫狔狏犲狉犻犪犾犮狅犿犫 ， （１．犔犪犫狅狉犪狋狅狉狔狅犳犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犜犲犮犺狀狅犾狅犵狔狅狀 犕犻犮狉狅狊狔狊犲犿 ，犛狋犪狋犲犓犲狔犔犪犫狅狉犪狋狅狉狔狅犳 犜狉犪狀狊犱狌犮犲狉犜犲犮犺狀狅犾狅犵狔，犺犪狀犵犺犪犻犐狀狊犻狌狋犲狅犳 犕犻犮狉狅狊狔狊犲犿犪狀犱犐狀犳狅狉犿犪狋狅狀犜犲犮犺狀狅犾狅犵狔， 犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿狔狅犳犛犮犻犲狀犮犲狊，犛犺犪狀犵犺犪犻２０００５０，犆犺犻狀犪； ２．犝狀犻狏犲狉狊狋狔狅犳犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿狔狅犳犛犮犲狀犮犲狊，犅犲犼犻狀犵１０００３９，犆犺犻狀犪） 犆狅狉狉犲狊狆狅狀犱犻狀犵犪狌狋犺狅狉，犿犪犻 ：犻狌狔犻狀犵犿犻狀犵＠犿犪犻 ．犻犿．犮．狀 犃犫狊狉犪犮狋：Ａ ＭｉｒｏｏｐｔｏＥｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉａｌＳｙｓｔｅｍ（ＭＯＥＭＳ）ｓｃａｎｎｉｎｇｍｉｒｏｒｗｉｈａｌａｒｇｅｓｚｅ，ｌｒｇｅ ｔｏｒｓｏｎａｌａｎｇｌｅｓａｎｄａｌｏｗｄｒｖｉｎｇｖｏｌａｇｅａｃｔｕａｔｅｄｂｙａｖｅｒｔｃａｌｃｏｍｂｄｒｖｅｒｗａｓｐｒｏｐｏｓｅｄ．Ｔｈｅｗｏｒｋ ｉｎｇｐｒｎｃｐｌ ｏｆｔｈｅｖｅｒｔｃａｌｃｏｍｂｄｒｖｅｒｗａｓａｎａｌｙｚｅｄａｎｄｉｓｆａｂｒｃａｔｏｎｐｒｏｃｅｓｓｗａｓｄｉｃｕｓｓｅｄ．Ｂｙｕ ｓｎｇａｂｕｌｋｍｉｒｏｍａｃｈｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｃｏｍｂｉｎｅｄｗｉｈａｓｌｃｏｎｓｌｃｏｎｂｏｎｄｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓ，ａｖｅｒｔ ｃａｌｃｏｍｂｄｒｖｅｒａｃｔｕａｔｅｄ ＭＯＥＭＳｓｃａｎｎｉｎｇｍｉｒｏｒｗａｓｆａｂｒｃａｔｅｄ．Ｔｈｅｆａｂｒｃａｔｅｄｓｃａｎｎｉｎｇｍｉｒｏｒｈａｓ ａｓｚｅｏｆ３ ｍｍ×２ ｍｍ，ｎｄａｒｅｓｏｎａｎｔｆｒｅｑｕｅｎｃｙｏｆ１．２ｋＨｚ．Ｔｈｅｔｅｓｔｒｅｓｕｌｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｍｉｒｏｒ ｈａｓａｈｉｇｈｑｕａｌｔｙｏｐｔｃａｌｓｕｒｆａｃｅａｎｄｔｈｅＲＭＳｏｆｓｕｒｆａｃｅｒｏｕｇｈｎｅｓｓｉ ｏｎｌｙ８．４ｎｍ．Ｗｈｅｎｔｈｅｄｒｖｉｎｇ ｖｏｌａｇｅｉ ｓｅｔｔｏｂｅ９５Ｖ，ｔｈｅｍａｘｉｍｕｍｒｏｔａｔｏｎａｎｇｌｅｏｆｔｈｅｍｉｒｏｒｉ ２．°．ｕｒｔｈｅｒｍｏｒｅ，ｔｈｅｔｅｓｔｅｄ ｔｕｒｎｏｎｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇｔｍｅａｎｄｔｕｒｎｏｆ ｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇｔｍｅｆｏｒｔｈｅｍｉｒｏｒａｒｅ１．８７ ｍｓａｎｄ４．１８ ｍｓ，ｅ ｓｐｅｃｔｖｅｌｙ． 　 　 收 稿 日 期 ：０１２０９０５；修 订 日 期 ：０１