一种采用电控变焦透镜的共焦显微系统专利申请书修改.docVIP

申请人：上海理工大学 发明人： 本实用新型公开了一种基于声光调制的双频外差干涉仪的光路装置。该装置利用声光调制器对入射光的位相和频率进行调制，利用其一级衍射光作为出射光，获得频率稳定性好且频差较高的双频激光， He-Ne激光器所发出的激光经分光镜分光及声光调制器后，分别经过各自的干涉臂，所设计干涉光路两束光为非共光路，在发生干涉时，因其经过不同的光路，所以产生的光程差得到相互补偿，避免了光学死程的出现，有效提高了测量精度。本实用新型稳定性好，可以应用于高速测量。较容易调整，取得了不错的效果，具有较为广阔的实用价值和经济价值。  1.一种声光式外差干涉仪的光路装置，包括以下步骤： 步骤一，由He-Ne激光器（1）发出的激光经过分光镜（2）分光，其中一束光沿着原光路透过分光镜（2），另一束光折射经过平面镜（14）反射后两束光分别平行入射到声光调制器f1（3）、f2（13）。(为方便表达，设经过f1（3）、f2（13）的两束出射光分别为W1和W2)。 步骤二，经过声光调制后的两束光W1和W2，入射至一块特制的由两块正常偏振分光镜结合在一起的偏振分光镜（4）。W1经过（4）分为两束正交的线偏振光，两束光经过各自的干涉臂且分别通过角锥棱镜（6）、（8）使光线按原方向返回从而两次经过四分之一波片（5）、（7）致使偏振方向旋转90度，使得原来透射的光被反射，原来反射的光被透射，最后合成的光由偏振分光镜（4）的上部分的分光处，垂直于原激光入射方向进入W2光在偏振分光镜（4）处；两束光汇合后并分为两束光。 步骤三，两束出射光分别通过偏振片（10）、（12），使两种频率的光在同方向上干涉；而后经过光接收器（9）、（11）接收，使接收到的光强信号转化为电信号，分别作为参考信号和测量信号。 2. 如权利要求1所述的一种声光式外差干涉仪的光路装置，在声光调制器后面加一凹透镜，节省了空间，实现短距离空间分离两束衍射光，光阑使一级衍射光透射，同时吸收或反射零级衍射光，最后又通过透镜使发散的衍射光平行射出。 3.如权利要求1所述的一种声光式外差干涉仪的光路装置，其特征在于，所述的干涉仪之中的光路虽不是共光路的，但没有光学死程，基本具有共光路干涉仪所具有的优良特性。在第一次分光时所产生的光程差（W2所多出的光程），W1在经过干涉臂以及最后与W1光在偏振分光镜汇合后，两束光所经过光程得到相应补偿，消除了光程差，避免了光学死程。 4. 如权利要求1所述的一种声光式外差干涉仪的光路装置，其特征在于所用到偏振分光镜（4）是两块普通偏振分光镜结合而成，W1在经过干涉臂两束光汇合后的光路都在偏振片中直到与W2汇合，避免了外部环境变化的影响，且这种偏振分光镜具有更容易调制，更加稳定。 一种采用电控变焦透镜作为共焦显微系统轴向扫描方法 技术领域 本发明涉及一种背景技术 发明内容 本发明是针对，提出了一种本发明的技术方案为：一种，此时再记录探测器上的光强数值。根据扫描后得到的光强值，我们可以得到被测物对应点的轴向的位置。最后通过PC控制X-Y位移台移动（被测物固定在位移台上），从而实现整个被测物表面的扫描，从而可以对整个被测物表面轮廓的测量。 本发明具有以下明显的优点： 该系统应用的变焦液体透镜是通过对该透镜的两个电极施加电压后,内部液晶的折射率就会形成中心对称的指数分布, 造成光线的偏折，达到聚光效果从而实现焦距变化的透镜。与传统的自动对焦镜头相比, 液体透镜具有体积小、反应速度快、耗电量小、精确度高等优点。 本发明通过控制变焦液体透镜的焦距，此系统不再有位移台，而是变焦液晶透镜。计算机通过电压控制器控制加到电控可变焦透镜上的电压，从而使可变焦透镜的焦距改变一个微小的值(其大小通常小于1um)，此时再记录探测器上的光强数值，根据扫描后得到的光强值，我们可以得到被测物对应点的轴向的位置。当照明针孔、被测物和探测针孔三者共轭时，探测器上的光强最大，由此可以更准确的确定被测物上该点对应的焦距，从而很容易确定被测物上该点的轴向位置。 本发明采用的变焦液体透镜作为共焦检测系统的轴向扫描手段的方法，实现了轴向无机械扫描。解决了传统的采用位移台轴向扫描带来的机械振动、摩擦等问题，增加了可靠性及测量精度。 通过控制电控可变焦透镜焦距对样品进行轴向扫描，利用X-Y位移台（被测物固定在位移台上）对样品进行横向扫描，得到被测物的层析图像。最后对采集到的层析图像进行三维重建，得到整个被测物的表面轮廓图。该系统为轴向无机械扫描与传统的高精度位移台比结构简单，