具有非均匀渐变界面!#的光学特性分析.pdfVIP

具有非均匀渐变界面!#的光学特性分析.pdf

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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 BB # ##’ # , , , CI) 7BB QI 7 # R@LIS?K ##’ ( ) ###8%+#/##’/BB # /G+$%8#G (6M( NOPDF6( DFQF6( ###’ 6T:A 7 NTU. 7 DI@ 7 具有非均匀渐变界面!# 的光学特性分析! ! 王小东 吴旭明 王 青 曹玉莲 何国荣 谭满清 (中国科学院半导体研究所,北京 ###$% ) ( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿) ##’ ##’ % % 应用特征矩阵法研究了非均匀渐变界面() ,- (./() ,- (./ ,-(./() ,- (. 123 的光学特性。建立了非 # *+ # * ! 0 ! 0 均匀渐变界面() ,- (. 的折射率模型,并得到了渐变界面特征矩阵的解析解,通过特征矩阵法分别计算了突变 ! 0 ! ,-(./() ,- (. 123 和渐变123 的反射谱和反射相移,分析了非均匀渐变层对 123 光学特性的影响,对渐变 # *+ # * 123,需要在123 前面再增加一定厚度的非均匀渐变相位匹配层才能使整个123 满足中心波长相位匹配条件,并 通过光学厚度近似方法求出相位匹配层厚度。 关键词: ,反射谱,反射相移,特征矩阵法 123 : , , $% #’# 4$#5 $’#6 [] 下关系’ : * 引 言  :  # % @I. .:A   [ ] H ! # [ ] $ H % J  : .:A @I.  # 长波长( —

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