NX10AFM最精确的表面分析工具pdf.pdfVIP

Marketing  天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn NX10 AFM——最精确的表面分析工具    ParkSystems起源于原子力显微镜的诞生地，美国斯坦福大学。公司创始人Sang-il Park博士毕业于斯坦福大学应用物理系，参与其导师C.F.Quate教授发明原子力显微 镜的过程。毕业后，他于 1989 年在硅谷创办了全球第一家原子力显微镜公司 Park ScientificInstruments。二十余年来对技术的专研与坚持，成就AFM业界历史最为悠 久的ParkSystems公司。 Marketing  天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn  Park原子力显微镜专心于AFM最基本的性能要求——精确成像，依靠独特的三 大技术优势，使其产品在形貌表征上拥有了无与伦比的精确度。 第一项技术是采用三轴分离的扫描器，彻底消除扫描器的交叉耦合，具有业界领先 的平整度和线性度，彻底消除了扫描器背景弯曲现象。 传统的原子力显微镜采用压电扫描管进行x-y-z三轴的扫描，水平扫描实际是通过 压电扫描管的弯曲来实现的。这种弯曲运动会带来弯曲畸变的测量结果。也就是说，采 用管式扫描器进行扫描时，水平弯曲和垂直伸缩是耦合在一起的，这就产生了交叉耦合 现象。 对于传统的原子力显微镜而言，这种测量误差需要通过软件矫正去除。由于这种弯 曲畸变是高阶非线性的，并且与扫描大小、扫描速度和扫描位置息息相关。事实上，我 们无法通过软件矫正获取真正平直的、准确的测量结果。 ParkSystems开发出的CrosstalkElimination技术，也就是水平扫描器和垂直扫 描器相分离的技术。两组独立的柔性扫描器分别移动样品和探针。水平扫描器用于移动 样品，垂直扫描器用于控制探针上下运动。该技术能够进行真正平直的扫描，而且所得 结果不受扫描大小、扫描速度和扫描位置的影响。 Marketing  天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 这一点在测量平滑的玻璃样品时能够得到特别好的体现，原始结果没有一点儿背景 弯曲现象。在整个80微米见方的图像中，平面偏移度小于1nm，这是业界领先的技术。 事实上，不论在这块平滑玻璃表面的任何位置进行任何大小的扫描，所得结果的平面偏 移度都是极小的。   第二项技术是真正的非接触扫描模式。ParkSystems开发出了大气环境下最为成 熟的非接触模式。 因为三轴分离的结构将垂直扫描器独立出来，它只负责垂直方向上探针的移动，这使得 在该轴向上的同步反馈频率极大增强。相比于压电陶瓷管垂直方向的反馈频率只有区区 几百Hz而言，NX10的垂直扫描器具有高达9kHz的同步