CH6_测控仪器的光电系统设计_光栅测量原理.ppt

6 激光干涉测量系统 单频激光干涉系统 双频激光干涉系统 特点： 信噪比高，抗干扰能力强，可用于大位移测量（200m以上）。 1 This presentation is prepared for interview in Leeds University on 6th May 2004, based on my research experience. Dalian University of Technology * 《精密机械及仪器设计》 School of Mechanical Eng. 《精密机械及仪器设计》 Dalian 116024,CHINA Dalian University of Technology 第六章测控仪器的光电系统设计之线位移/角位移测量部件 徐志祥 1 常见部件 脉冲编码器（角位移, angular encoder ） 光栅尺（线位移, linear encoder） 按运动形式分： 直线型主光栅为直尺形→直线移动 旋转型主光栅为圆盘形→旋转运动 按光学形式分： 透射式光源与光电元件在两侧→透射光 反射式光源与光电元件同一侧→反射光 光栅传感器分类： 2 脉冲编码器 2.1 增量式/相对式脉冲编码器 旋转编码器中的圆光栅 3 光栅 光电系统的设计： 匹配问题 均匀刻线 主光栅 指示光栅 夹角 明暗相间条纹 莫尔条纹 移动 莫尔条纹演示 条纹宽度： W-栅距， a-线宽， b-缝宽 W=a+b ，a=b=W/2 特例：当 ?=0, w1=w2 → B=? → 光闸莫尔条纹 当 ?=0, w1≠w2 → 纵向莫尔条纹 均匀刻线 主光栅 指示光栅 夹角 明暗相间条纹 莫尔条纹 移动 莫尔条纹特性： （1）方向性：垂直于角平分线，当夹角很小时 → 与光栅移动方向垂直。 （2）同步性：光栅移动一个栅距 → 莫尔条纹移动一个间距一方向对应。 （3）放大性：夹角θ很小 → BW → 光学放大 → 提高灵敏度。 （4）可调性：夹角θ↓→ 条纹间距B↑ → 灵活 （5）准确性：大量刻线 → 误差平均效应 → 克服个别/局部误差 → 提高精度 莫尔条纹位移测量原理 光栅测量系统示意图 光电元件输出信号波形 辨向实现方法之一 D触发器：CP端正跳变，D送至Q，并保持至下一次跳变发生，另一端Q/与Q反相。 4 相对式脉冲编码器 Phase A、B之间相位差90，Phase Z为校准脉冲，每转一个。 掉电则“丢失”当前位置，需要重新回零点。 5 绝对式脉冲编码器 掉电 不“丢失”当前位置，任何时候均可读出当前角度值。 位置伺服控制系统中的测量反馈 Page * Page * Dalian University of Technology * 《精密机械及仪器设计》 School of Mechanical Eng. 1 This presentation is prepared for interview in Leeds University on 6th May 2004, based on my research experience.